Elementos electrónicos de vacío
Los elementos electrónicos de vacío se emplean para la medida de alto vacío, son muy sensibles y
se clasifican en los siguientes tipos:
• Medidor McLeod.
• Mecánicos – Tubo Bourdon, fuelle y diafragma.
• Propiedades de un gas – Conductividad térmica.
• Térmicos – Termopar, Pirani, bimetal.
• Ionización – Filamento caliente, cátodo frío.
En la figura 1 pueden verse los campos de trabajo de los elementos electrónicos de vacío.
Fig.1 Campos de trabajo de los elementos electrónicos de vacío.
Medidor McLeod
El medidor McLeod se utiliza como aparato primario de calibración de los restantes instrumentos. Se basa en
comprimir una muestra del gas de gran volumen conocido a un volumen más pequeño y a mayor presión
mediante una columna de mercurio en un tubo capilar de volumen conocido. Fig. 2.
La presión del gas se deduce aplicando la ley de Boyle-Mariotte.
P1V1=P2V2 donde las P, son presiones absolutas
Su intervalo de medida es de 1 a 10-4 mm Hg. Debido a la compresión que se realiza en la medida no puede
utilizarse para vapores.
Bourdon, fuelle, diafragma.
El tubo Bourdon combina la medida de presión y vacío con la escala dividida en dos partes, a la izquierda el
vacío (cm de Hg y pulgadas de mercurio) y a la derecha Kg/cm2(bar) y psi. Fig. 3.
Los elementos mecánicos de fuelle y de diafragma trabajan en forma diferencial entre la presión atmosférica
y la del proceso. Pueden estar compensados con relación a la presión atmosférica y calibrados en unidades
absolutas. Al ser dispositivos mecánicos, las fuerzas disponibles a presiones del gas muy bajas son tan
pequeñas que estos instrumentos no son adecuados para la medida de alto vacío, estando limitados a valores
de 0,00001 mm Hg abs. Pueden llevar acoplados elementos eléctricos del tipo de galga extensiométrica o
capacitivos. En la Fig. 4 puede verse un medidor de vacío de capacitancia con diafragma.
